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        电子级水GB/T 11446.3-2013标准

        发布时间:2020-07-15来源:浏览:

        1、 范围
        GB/T 11446 的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检测规则。
        本部分使用与电子和半导体工业永高纯清洗用水。

        2、 规范性引用文件
        下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
        GB/T 11446.3-2013 电子级水测试方法通则
        GB/T 11446.4-2013 电子级水电阻率的测试方法
        GB/T 11446.5-2013 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法
        GB/T 11446.6-2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法
        GB/T 11446.7-2013 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法
        GB/T 11446.8-2013 电子级水中总有机碳的测试方法
        GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法
        GB/T 11446.10-2013 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法

        3 、术语和定义
        下列术语和定义适用于本文件。

        3.1、电子级水 electronic grade water
        电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。

        3.2、电阻率 resistivity
        在规定温度下,1cm3(正立方体)水溶液两相对面之间测得的电阻值。通常用符号ρ表示,单位为欧姆厘米(Ω·cm),纯水的理论电阻率为18.3MΩ·cm(25℃)。

        3.3、全硅 total silicon
        水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。

        3.4、可溶性硅 soluble silicon
        以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐。

        3.5、微粒性物质 granular matter
        除气体外,以非液体分散在水中,并形成非均相混合物的物质。

        3.6、总有机碳 total organic carbon;TOC
        水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。

        3.7、吸附 absorption
        某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的现象。

        3.8、凝聚 coagulation
        在源水中加入某种电解质后,水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和,从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象。

        3.9、絮凝 flocculation
        水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是再凝聚作用后缓慢进行,可除去水中更细的微粒。

        3.10、砂滤器 sand filter
        用于盛放不同直径的砂粒,以除去源水中悬浮固体和浑浊物的装置。

        3.11、活性碳过滤器 activated carbon filter
        装有粒状活性碳的过滤器,用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。
         
        3.12、离子交换 ion exchange
        一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程,该过程中物质并无实质性结构变化。

        3.13、离子交换树脂 ion-exchange resin
        一种合成的有机离子交换材料。

        3.14、去离子水 deionized water
        经过离子交换处理,除去了呈离子形式的杂质的高纯水

        3.15、再生 regeneration
        离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中,用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力。

        3.16、复合床 complex bed
        将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中,将两柱串联,使水依次通过两个柱而被纯化。

        3.17、混合床 mixed bed
        将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀,填充于同一离子交换柱中,其纯化效果相当于许多复合床串联使用。

        3.18、电渗析 electrodialysis
        一种分离水中离子的方法。在电渗析器中,阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分割成一系列小室。水流通过小室时,在电流电场作用下,水中阳离子向阴极方向移动,但不能通过阳膜;阴离子则相反。这样就形成相间存在的浓、淡水室而达到提纯水的目的。

        3.19、逆向渗透 reverse osmosis
        用半透膜将浓水和淡水隔开,并在弄水上施加比渗透压更强的机械压力,则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在其中,达到分离提纯的目的。

        3.20、反渗透膜 reverse osmosis membrane
        用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜,其孔径一般为0.02μm或更小,可用于除去无机离子、有机物、细菌等,使水纯化。

        3.21、微孔膜滤器 membrane filter
        一种平均孔径(直径)大于0.01μm的薄膜,能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近。

        3.22、超过滤 ultrafiltration
        一种过滤方法,在一定压力下使水流过超滤膜以除去水中的极细微粒、胶体和细菌等。

        3.23、终端 terminal
        高纯水生产流程中经过各道净化工艺后,水的出口或使用地点。

        3.24、无菌 sterile
        不含任何活有机体(不论是活跃的或休眠的)。

        3.25、PH
        水溶液中氢离子活度的负对数或氢氧根离子活度倒数的负对数。

        4 、分类和标记

        4.1、 分类
        电子级水分为四个级别:Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级。

        4.2、 标记
        Ⅰ级电子级水标记为:EW-Ⅰ。
        Ⅱ级电子级水标记为:EW-Ⅱ。
        Ⅲ级电子级水标记为:EW-Ⅲ。
        Ⅳ级电子级水标记为:EW-Ⅳ。
         
        5 、要求
        电子级水的技术指标应符合表1规定。
        表1 电子级水的技术指标

        项目

        技术指标

        EW-Ⅰ

        EW-Ⅱ

        EW-Ⅲ

        EW-Ⅳ

        电阻率(25℃)/MΩ·cm

        ≥18
        (5%时间不低于17)

        ≥15
        (5%时间不低于13)

        ≥12

        ≥0.5

        全硅/(μg/L)

        ≤2

        ≤10

        ≤50

        ≤1000

        微粒数/
        (个/L)

        0.05μm~0.1μm

        500

        -

        -

        -

        0.1μm~0.2μm

        300

        -

        -

        -

        0.2μm~0.3μm

        50

        -

        -

        -

        0.3μm~0.5μm

        20

        -

        -

        -

        >0.5μm

        4

        -

        -

        -

        细菌个数/(个/mL)

        ≤0.01

        ≤0.1

        ≤10

        ≤100

        铜/(μg/L)

        ≤0.2

        ≤1

        ≤2

        ≤500

        锌/(μg/L)

        ≤0.2

        ≤1

        ≤5

        ≤500

        镍/(μg/L)

        ≤0.1

        ≤1

        ≤2

        ≤500

        钠/(μg/L)

        ≤0.5

        ≤2

        ≤5

        ≤1000

        钾/(μg/L)

        ≤0.5

        ≤2

        ≤5

        ≤500

        铁/(μg/L)

        ≤0.1

        -

        -

        -

        铅/(μg/L)

        ≤0.1

        -

        -

        -

        氟/(μg/L)

        ≤1

        -

        -

        -

        氯/(μg/L)

        ≤1

        ≤1

        ≤10

        ≤1000

        亚硝酸根/(μg/L)

        ≤1

        -

        -

        -

        溴/(μg/L)

        ≤1

        -

        -

        -

        硝酸根/(μg/L)

        ≤1

        ≤1

        ≤5

        ≤500

        磷酸根/(μg/L)

        ≤1

        ≤1

        ≤5

        ≤500

         
        6 、试验方法

        6.1 、电阻率
        电子级水的电阻率按GB/T 11446.4-013进行测定。

        6.2、 全硅含量(以二氧化硅计)
        电子级水全硅(以二氧化硅计)含量按GB/T 11446.6-2013进行测定。

        6.3 、微粒数
        电子级水中微粒数按GB/T 11446.9-2013进行测定。

        6.4、 细菌总数
        电子级水中细菌总数按GB/T 11446.10-2013进行测定。

        6.5、 痕量金属含量
        电子级水中痕量金属的含量按GB/T 11446.5-2013进行测定。
         
        6.6、 氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量
        电子级水中氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量按GB/T 11446.7-2013进行测定。

        6.7 、总有机碳含量
        电子级水中总有机碳含量按GB/T 11446.8-2013进行测定。

        7、 检验规则

        7.1、检验部门
        电子级水的检验均应在有资质的检验部门进行。

        7.2 检验分类
        电子级水的检验分为交收检验和例行检验。

        7.3、交收检验
        7.3.1 、抽验项目
        电子级水中电阻率、钠离子、全硅(以二氧化硅计)为交收检验项目。

        7.3.2 、合格判据
        在用水终端采样,检验后检验结果如有一项或一项以上不合格时,应再次采样经行检验,如仍不合格,则该批不合格,应提出改进措施直到水质合格。

        7.4 、例行检验(全检项目)

        7.4.1、 检验项目
        检验项目为表1规定的全部项目。检验顺序应以不影响后序实验结果的原则进行检验。

        7.4.2、 不合格判定
        在用水终端采样后进行例行检验,检验结果如有不合格项时,应再次采样进行检验,如仍有不合格项时,应提出改进措施直到水质合格。

        7.4.3、 检验频次
        例行检验至少每年进行一次,当制水条件发生变更时也应进行例行检验。

        8 、采样、贮存、运输及标志

        8.1、采样、贮存、运输
        电子级水的采样、贮存、运输应符合GB/T 11446.3-2013的规定。

        8.2 、标志
        在用水终端采样进行检验时,水质合格后应附有检验合格证,合格证应包含如下内容:

        00001. 名称及级别;

        00002. 各项技术指标;

        00003. 制水单位;

        00004. 供水日期;

        00005. 检验员签章及检验日期。

         

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